Konferenzbeiträge
D. Clausi, H. Gradin, J. Peirs, S. Braun, R. Donose, G. Stemme, W. Wijngaart, D. Reynaerts, Reliability of Silicon Spring-biased SMA Microactuators, (2012).
H. Gradin, S. Braun, G. Stemme, W. Wijngaart, Awafer-level, heterogeneously integrated, high flow SMA-silicon gas microvalve, 2011 16th Int. Solid-State Sensors, Actuat
Anwendungsnah forschen bis zur Promotion
Eine weitere Besonderheit ist die starke Verzahnung von Lehre und Forschung. In unserem Forschungsschwerpunkt Integrierte Miniaturisierte Systeme (IMS) laufen aktuell zahlreiche Forschungsprojekte. Bei uns sind diese Projekte häufig interdisziplinär und finden in Kooperation mit Unternehmen und anderen Fors
Publikationen
2014
C. Banzhaf, M. Grieb, A. Trautmann, A. Bauer, L. Frey, Influence of Diverse Post-Trench Processes on the Electrical Performance of 4H-SiC MOS Structures, Materials Science Forum. 778–780 (2014) 595–598. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.595. C.T. Banzhaf, M. Grieb, A. Trautmann, A.J. Bauer, L. Frey, In
2011
L. Bohne, A. Trautmann, T. Pirk, W. Jaegermann, Strukturierung von Siliziumsubstraten für integrierte 3D-Dünnschichtbatterien, MikroSystemTechnik - KONGRESS (2011).
2013
C. Banzhaf, M. Grieb, A. Trautmann, A. Bauer, L. Frey, Characterization of Diverse Gate Oxides on 4H-SiC 3D Trench-MOS Structures, Materials Science Forum. 740–742 (2013) 691–694. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.740-742.691.
2007
S.Kamiya, J.Kuypers, A.Trautmann, P.Ruther, O.Paul, Process Temperature Dependent Mechanical Properties of Polysilicon Measured Using a Novel Tensile Test Structure, IEEE Journal of Microelectromechanical Systems 16 Issue 2, (2007), 202 – 212. B. Levey, P. Gieschke, M. Dölle, S. Spinner, A. Trautmann, P. Ruther, O. Paul, CMOS-Integrat
