Lehrgebiet:
- Mikro- und Nanotechnologie
Vorlesungsthemen:
- Einführung in die Mikrosystemtechnik
- Nanotechnologie
- Herstellung, Strukturierung und Charakterisierung dünner Schichten
- Plasmaprozesse in der mikrotechnischen Fertigung
- Lasertechnik
- Halbleiterphysik
Kontakt
Prof. Dr.-Ing. Achim Trautmann
Studiengangsleitung " Systems Engineering for Micro-Electro-Mechanical-Systems or Biomedical Micro Engineering, Master"
- +49 631 3724-5413achim.trautmann(at)hs-kl(dot)de
- Campus Zweibrücken
- Raum H142