Ausstattung

Die Arbeitsgruppe "Chemische Prozesse in der Mikrotechnik" profitiert von der hervorragenden Ausstattung des Studienortes Zweibrücken.

Neben den naturwissenschaftlichen und ingenieurwissenschaftlichen Grundlagenlaboren (Chemie, Physik, Biologie, Biochemie und E-Technik) sowie Großgeräten (zum Beispiel  Rasterelektronenmikroskop) verfügt der Fachbereich IMST über einen umfassend ausgestatteten Reinraum für siliciumtechnische- und LIGA- Anwendungen.

Kontakt

HSKL

Projekt CNT- Verbundmaterial, Projekt Hallsensoren FB IMST, Projekt Lab-on-Chip-Methoden für die Prozesskontrolle FB IMST, Projekt Magnetische Aktoren und Sensoren FB IMST, Projekt Nano-Oberflächen, Projekt Nano-Prägestempel FB IMST, Projekt Random Nanostructures for Biomedical Analytics, Projekt Tissue Engineering von Geweben mittels elektrischer und magnetischer Stimulation, Projekt Weichmagnetische Funktionsschichten

Zusätzliche Ausstattung

Zusätzlich stehen der Arbeitsgruppe noch folgende Geräte zur Verfügung:

  • 2 Industrielle Galvanikanlagen für 4-Zoll-Wafer von MOT Mikro und Oberflächen Technik (derzeit für Nickel- und Nickel-Eisen-Legierungsabscheidungen genutzt)
  • Gold-Galvanik-Anlage
  • Autolab RotaHull - Rotierende Zylinder Hull Zelle
  • Potentiostat PGSTAT302N; Metrohm incl. ECD-Modul für kleine Ströme
  • Atomabsorptions-Spektrometer; Perkin-Elmer; Modell 3100
  • UV-VIS Spektrometer; Perkin-Elmer; Modell Lambda 41
  • HPLC Agilent LC-System 1100 mit diversen Modulen, wie isokratische Pumpe, Säulenofen, Diodenarray-Detektor sowie Brechungsindex-Detektor