Der spezielle Tätigkeitsschwerpunkt der Arbeitsgruppe liegt in der Entwicklung und Anwendung mikrotechnischer Sensoren. Besonderes Interesse besteht in körpernahen und textilen Anwendungen.

Für die Projektbearbeitung hat die Arbeitsgruppe Zugriff auf die umfangreiche Technologieausstattung des Fachbereiches Informatik und Mikrosystemtechnik und arbeitet eng mit Kolleginnen und Kollegen des Forschungsschwerpunktes Integrierte Miniaturisierte Systeme (IMS) zusammen.

Vorhandene Technologien / Ausstattung:

• Reinraum mit Fertigungsequipment für Mikrosystem- und Nanotechnologie
• Diverses Messequipment für die mikroelektronische Fertigung (Mikroskope, REM, Profilometer, AFM, Ramanspektroskopie, …)
• Bond Aligner und Substrat Bonder MB6; SB6,
• Pick & Place, Die- und Drahtbonder, Flip-Chip-Bonder
• SMT Montage (, Löten; Reflow-Löten, …)
• Klimaschrank, Öfen, …
• Diverse Mess- und Prüfgeräte im Bereich Elektronikentwicklung (Speicheroszillografen, Multimeter, LabVIEW-Messplätze, …)
• weitere Technologien und Ausstattungen

Projektbeispiele:

• Smarte Schuhe
• Intelligente Bekleidung
• Körpernahes Klima
• DRIE Tiefes Reaktives Ionenätzen
• Offene Digitalisierungsallianz Pflaz (ODPfalz)
• Innovationsbereich Gesundheit (flyer)